氦質譜檢漏儀

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鍍膜設備氦質譜檢漏

鍍膜設備氦質譜檢漏

鍍膜設備氦質譜檢漏

韓國某公司作為全球OLED屏幕主要技術供應商，以高真空技術及納米薄膜工程技術為基礎（尤其是其在OLED領域具備的技術特色以及先進的濺射鍍膜工藝）。主要生產鍍膜設備有：顯示芯片以及為產業用薄膜沉積的濺射裝備；OLED芯片以及材料開發用有機與無機沉積封裝設備；大面積真空物流系統以及納米薄膜鍍膜工程開發服務以及濺射用合金靶等。

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作為高真空鍍膜設備，其出廠、安裝、維護都離不開氦質譜檢漏儀。由于半導體行業生產需要高潔凈度，通常鍍膜設備都是選用干泵型的氦質譜檢漏儀來滿足設備的出廠安裝以及維護需要，主要采用負壓噴氦法來查找設備可疑泄漏點。

安徽歌博科技的干泵型氦質譜檢漏儀廣泛應用在半導體真空鍍膜設備檢漏行業，如圖所示即為安徽歌博A530型檢漏儀在鍍膜設備檢漏。安徽歌博科技氦質譜檢漏儀憑借便捷的操控，卓越的性能, 以及高靈敏超穩定等優點被韓國某公司的工程人員廣泛認可。


關鍵詞： 氦質譜檢漏儀

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